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电化铝喷头的制作方法

电化铝喷头的制作方法

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电化铝喷头的制作方法

  电铸是基于电化学沉积原理实施金属层/零件制造的特殊加工技术木。 由于具有可再现微细纹理、工艺成本低、材料选择性大、适用尺度范围广等优点,常用于精密、微细、异形等金属结构和零件的制造。电化铝喷头加工有有型电铸和无型电铸两种。 相比之下,通过阴极或阳极诱导直接控制金属层生长的无模电铸,由于不需要特殊的芯型,金属层可以三维自由生长等特点,在制造三维复杂的金属微结构方面很有前景,那么,下面一起了解下电化铝喷头的制作方法吧!

  

电化铝喷头


  目前用于喷射电铸的下电化铝喷头结构与高压水射流喷头相同或相似,主要依靠下电化铝喷头内导轨部分的聚焦作用和出口孔的定(直)径定形作用,通过压差驱动喷射流体。 该下电化铝喷头喷出的流速直径、有效射程和扩散程度除了涉及流体性质、压力差等因素外,等径射程越长,特征尺寸越小、精度越高,有利于电铸形态质量良好的金属微结构和零件,具有局部性(较小铸斑直径与较小喷流直径之比) 但是,在以往基于结构特征的喷头中,很难得到高质量(射流直径极小,等径射程大,流速比较高) )的微细射流,制约了应用于高集成芯片的布金属线艺之类的射流电铸技术的深化应用另外,在根据从上述现有结构的喷墨头喷射的喷流液进行电铸的情况下,堆积的金属层容易与周围气氛中的氧接触,因此在容易氧化的金属的电铸层中含有大量氧化物杂质,电铸层/部件的形态品质和性能降低。 综上所述,需要提供一种能够获得极微细(直径数微米)射流、大等径射程、高流速、更好的艺术质量)形态质量、局部性好、氧化物杂质少等)的微射流电铸头。

  为了提高寿命和避免电解腐蚀,主机和头盖使用了强度高的耐磨损性电绝缘材料。 喷嘴内径d和导向孔的直径在1mm以下且小于a,有利于形成光束直径在毫米级以下的微细射流。 喷嘴出口端面和先导端口入口之间有间隙(具体的间隙值根据APP位置的要求决定。 由于喷淋头的有效喷流长度(从导孔入口到喷射破碎点的距离)受导孔深度的影响,因此其值根据射程的需要决定,取尽可能小的值,以尽量在头盖外得到长的微细喷流。 喷淋头工作时,从吸气口导入腔体内的惰性气体在压力_的作用下高速从节流孔流出,在节流孔入口形成吸引力,电解液从吸气口流向喷嘴,从喷嘴出口流出电解液。

  可以得到用以往的下电化铝喷头很难实现的极其微细的喷气飞机。 本发明打破了通过缩小孔径、优化喷头几何结构来获得微细射流的传统思路:

  1、采用辅助高速气流的方法进行液流束的聚焦和加速,克服了传统方法在几何结构和加工实现方面的限制,降低了加工成本,极限射流束径在增大有效稳定的等径射程的同时,必要时可以作为普通喷头使用以满足多样化的需求。

  2、加强了射流电铸的技术能力。 根据本发明的喷墨头,可以用极其微细的喷射梁实施电铸技术,由此可以电铸制造特征尺寸更微细的金属结构,加工精度更高,喷射电铸在集成电路布线、复杂的金属微细结构和部件制造等领域的应用扩大

  3、提高了电铸层/零件的性能和质量。 与以往的喷头喷射电铸不同,由本发明的喷头喷射的喷射光束被惰性气流包围。 当向阴极基板或堆积金属层喷射这样喷射时,另外一方面,惰性气体的流动对周围的氧气、灰尘、杂质等发挥一定的隔离作用,降低堆积金属被氧化而侵入杂质的可能性;

  4、电化铝喷头在堆积的金属件侧壁流动时,被气流赶走、隔离,因此电铸的杂散电流降低,电铸的局部性提高。一种微型喷射电铸头,具备具有腔室头主体,在头主体上设有送液口和送液口,在头主体的腔室内设有与送液口连接的喷嘴,在喷嘴的外部可装卸地密封连接有喷嘴盖,在喷嘴盖上设有管喷嘴、喷嘴和先导孔中心线一致,先导孔的入口端面与喷嘴的出口端面具有间隙,在喷嘴主体上设有向腔体内突出并与喷嘴连接的导电性的定心机构的微型喷射电铸头本发明, 突破了通过缩小孔径和优化喷头几何结构获取微细射流的传统思路,采用辅助高速气流的方法对液流束进行聚焦和加速,克服了传统方法在几何结构和加工实现方面的限制,降低了加工成本,大大减少了极限射流束径,有效稳定等

  以上介绍的就是电化铝喷头的制作方法,如需了解更多,可随时联系我们!


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